曲卓入行时,正是步进式投影光刻机发展的顶峰时期。
即便后来浸润式光刻机出来了,国内在很长时间里,依旧以干式机为主。
那段时间里,国内就是个破烂王国,佳能的ex3l和5l、尼康的nsr-1010g,asl的fpa2500,svgl的icrascani,甚至gca在78年推出的,当时来说已经老掉牙的没有结束,请点击下一页继续阅读!
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